绑定支持(Bonding)

一些金属、化合物、合金靶材(例如ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及烧结靶材、锡、铟等软金属靶)容易在使用运输中发生碎裂,靶材绑定在背板上,可有效解决靶材碎裂的问题。Goodwill可以提供靶材绑定服务,绑定是指用焊料将靶材与背靶焊接起来,主要有三种方式:铟焊接、钎焊、和导电胶。一般背靶常用金属铜、钼、钛、不锈钢,厚度一般在1-8mm左右。

靶材背靶脱落的原因:1.溅射温度高,无氧铜易被氧化和发生翘曲,靶材在高温溅射时会开裂,造成背靶脱落; 2.电流太大,导热太快造成温度过高,焊料熔化,造成焊料不均匀,脱落;3.循环冷却水出水口的温度应低于35度,循环水温度高,造成散热不好而脱落;4.绑定的气含量;5.靶材本身的致密度,靶材的致密度很高时,不易吸附,无空隙,背靶易脱落。Goodwill已有效的解决了以上问题,绑定成功率大大提高,提供优质绑定服务。